设备名称

数量

单位

技术参数

霍尔元件制作平台及软件测试系统

1

台

系统主要组成：霍尔元件制作平台+综合评估系统+电脑+配套测试软件

实验功能：

通过霍尔元件制作平台培养学生制作不同类型霍尔元件的能力；认识霍尔元器件的制作工艺流程；学会使用评估系统来评估整个实验过程；学会使用测试软件来进行数据的综合分析，得出合理的结论。

台式电脑：（不低于以下参数配置）

系统：处理器I5-4590；硬盘容量：1T；内存容量：4G；显卡：1G独显；显示器尺寸：21英寸

变温霍尔效应实验系统（电磁液氮）

1

台

实验系统主要组成：真空泵+恒温器+实验平台+电源+电磁铁+杜瓦瓶

实验功能：

1、了解HALL效应的基本原理。

2、测量HALL样品在恒定磁场条件下，霍尔电流与霍尔电压的函数关系。

3、测量HALL样品在恒定霍尔电流条件下，霍尔电压与外加磁场的关系。

4、对于存在相变的HALL样品，变温情况下，温度与霍尔系数，载流子类型之间的关系。

5、在本仪器上完成上述三种类型的测试，并计算出样品的相变温度、载流子类型，载流子密度，载流子迁移率，霍尔系数。

6、学习霍尔效应电极接法以及“四电极”电阻测量法，调整实验电极接线方式测量实验元件的磁阻效应

7、通过变温电阻实验，计算出半导体元件的禁带宽度

8、通过变温霍尔实验，得到霍尔参数的温度特性曲线

9、通过霍尔效应测量磁感应强度以及了解磁场在距离上的衰减分布

主要技术指标

1.      样品大小：3*3mm-20*20mm （此设备为专业配套设备，可根据用户需求进行样品的尺寸调整）

2.      磁场精度：1高斯，磁场：0至 ± 7000高斯，可即时调节磁场大小并实现在屏幕上显示磁场强度 ；USB存储系统，可通过USB接口导出或保存实验数据

3.      霍尔电流：范围1μA 到 200mA 连续可调

4.      霍尔电压：范围1μV 到 5000μV

5.      控温精度：±0.1K

6.      控温范围：100K 到 330K

7.      恒温器液氮容量：2000mL

8.      静止液氮保存时间：大于5小时

9.      数据处理：大尺寸高分辨彩色液晶实时显示 Hall Voltage vs Field 及 Hall Voltage vs Temperature

10.   计算机接口：USB数据采集接口，学校自备计算机和液氮。

11.   提供多种霍尔元件样品测试，用户根据自己的实验要求更换样品。

12.   嵌入式触摸屏软键盘菜单式操作，前端式维修。

13.   磁场正反向调节，液晶屏实时动态显示实验曲线。

14.   以风扇散热保证仪器的运行，安全可靠，性能稳定，廷长使用寿命。

能够测量其他自制硅片的霍尔测试。

数字式硅片 少子寿命实验系统

1

套

系统组成：微波组件+激光组件+控制组件+密封滴瓶（钝化剂）

实验功能：

了解半导体中非平衡载流子产生和复合的微观过程；了解影响复合寿命测量的相关因素；理解用微波反射光电导衰减法测量硅片载流子复合寿命的原理；研究表面钝化对复合寿命测量的影响；研究注入水平对复合寿命测量的影响；验证S-R-H模型的正确性并推算少子寿命；学会利用注入水平检查硅片中的个别杂质类型；学会计算非平衡载流子的扩散系数和扩散长度；测量复合寿命的分布。

技术指标：

数字式硅片少子寿命实验仪；寿命测量范围：0.5us~30ms；电阻率下限：≤1.0Ω∙cm；测量重复性：3%

包含：

微波组件：

信号源（自带隔离）×1；同轴波导转换接头×1；环行器×1；弯波导×1

检波器×1；直波导×3；微波频率：10.5GHz±20MHz；微波功率：15mW；频率稳定度：2×10-4；幅度稳定度：10-2

激光组件：

激光波长：905nm（典型宽度7nm）；激光脉宽：约200ns；激光频率：约30Hz；激光功率：0~≥50W可调；样品测试台：；Φ160mm金属测试平台，含二维坐标刻度，精度1mm

控制部分：

微波激光同时控制通断，激光功率可调，光子面密度参数可4位数字显示。

样品盒：含N型和P型单晶硅片各1片

其他：

密封滴瓶×1：装有钝化剂（带滴管）；自由金属板×1；电源：市电AC220V±10%，50Hz；推荐使用条件：温度23±2℃，湿度：60%~70%；产品特点；参照国家标准GB/T 26068-2010设计制造，实现非破坏性、无接触测量；激光功率可调：0~≥50W；激光脉宽窄：约200ns；可控制激光和微波的通断；可直接从数字示波器上看到动态显示的光电导衰减信号，便于理解载流子复合过程；可测量N型或P型半导体硅片的复合寿命。

数字式硅片少子寿命软件测试系统

1

套

系统组成：电脑+实验指标评估系统+配套测试软件+示波器

实验功能：

学会使用数字示波器、计算机软件测量分析复合寿命；学会使用实验指标评估系统来评估实验过程以及实验报告。

技术指标：

推荐使用条件：温度23±2℃，湿度：60%~70%

数字示波器参数

1）、7英寸彩色大屏,模拟带宽：100MHz。提供2路模拟通道,模拟通道采样率：1.0GSa/s，双通道频率计数器：带有基于硬件的双通道频率计数器，可在大字符显示器上同时显示两个通道的测量结果；

（2）、具有34种自动测量：周期，频率，正宽度，负宽度，上升时间，下降时间，最大值，最小值，峰峰值，中间值，RMS，周期RMS，光标RMS，相位，正脉冲数，负脉冲数，上升沿数，下降沿数，正占空比，负占空比，幅度，周期中间值，光标中间值，突发宽度，正过冲，负过冲，面积，周期面积，高，低，延迟RR，延迟RF，延迟FR，延迟FF2。多种语种界面支持，在线多语种上、下文相关帮助；

（3）、具有示波器课件功能：新型课件功能建立了一个教育生态系统，把强大的PC 课程编辑器软件与仪器和课件登录页面结合起来。通过新功能，教育工作者能够创建实验室说明和指令，然后把材料直接上传到示波器。在工作空间文件加载到仪器中时，学生可以使用前面板上的“Course”按钮，方便地访问内容。通过使用示波器软键和多功能旋钮，学生可以访问至少8个课程，每门课程不少于30个实验。为了适应多个班级使用同一台仪器的情况，示波器上可以存储不少于100 MB的课程教材。一旦选择了一个实验，学生可以温习概况部分，使用分步程序执行实验，收集数据，检查和保存数据结果，生成报告，显示为程序每一步创建的波形，所有这些工作都可以在示波器上直接完成。

（4）、配置PC软件：可通过USB接口与计算机通讯作数据交换及编程，可通过Microsoft Word和Excel工具栏插入程序传输和保存设定值，波形，测量值和屏幕图；

（5）、标配课件PC软件，课件实验实例，探头ABC应用指南，示波器XYZ应用指南；

台式电脑：（不低于以下参数配置）

系统：处理器I5-4590；硬盘容量：1T；内存容量：4G；显卡：1G独显；显示器尺寸：21英寸；

智能杨氏模量实验仪

25

套

力学、几何量的测量均通过传感器自动测量，测量结果能自动显示。力学量程：≥50Kg，力学量分辨率：≤1kg/pc，几何量程：≥50cm，几何分辨率：≤10^-3mm，几何增益：10，样品更换方便。提供四金属丝样品：φ0.5 mm，φ1.0 mm，φ1.5 mm，φ2.0mm。